设备简介：
激光干涉仪包含两台仪器，DynaFiz 和 ZeGage，两台仪器独立工作。DynaFiz用于非接触式测量平面度，仅当面粗糙度小于50nm时才能使用其测量得出结果。ZeGage光学轮廓仪用于3D形貌定量测量和精密机械表面粗糙度检测。非接触式测量使测量过程中不会对测量面造成任何损伤。百万像素的高分辨率图形传感器可以在几秒时间内进行快速面测量，并给出优秀的表面细节成像。
技术指标：
表面定量计量精度：纳米级
主要功能：
测量各种材料的面形，提供各种参数，包括表面结构、面形和台阶高度等等的2D和3D图形。
应用领域：
电子直线加速器内表面粗糙度、平面度检测，光学平面检测，要求不能损伤测量面的平面检测。
