设备简介：

纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

技术指标：

1、位移能力：压头总的位移范围≥1.5mm；最大压痕深度>500um；位移分辨率<0.01nm；

2、载荷能力：加载模式 电磁力；最大载荷（标配） >500mN；载荷分辨率 50nN；高DCM压痕选件 10mN/1nN；框架刚度 ≥5x106N/m；

3、样品台：有效使用面积 100mmX100mm；定位精度 1um；定位控制模式 全自动遥控

4、光学显微镜：总的放大倍率 250倍和1000倍；物镜镜头 10X 和40X；载荷选件10N/50nN。

主要功能：

测量纳米尺度的硬度与弹性模量。

应用领域：

其应用包括半导体、薄膜和 MEM（晶圆应用）；硬质涂层和DLC膜；复合材料、纤维和聚合物；金属和陶瓷；以及生物材料和生物学等。