设备简介：

飞行时间——二次离子质谱仪的工作原理是样品表面被高能聚焦的一次离子轰击时，发生层叠碰撞，引起中性粒子和带正负电荷的二次离子发生溅射，再通过测量不同二次离子的飞行时间测量它们的质量/荷质比，对被轰击的样品的表面和内部元素分布特征进行分析。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素，并能给出同位素的信息、分析化合物组分和分子构成，灵敏度好、质量分辨率高、可测量的分子量范围大，还可以进行微区成分成像和深度剖面分析。

技术指标：

1、高分辨质谱：

灵敏度：10⁹个原子/cm²(对于无机固体材料相当于ppm级)；

可检测质量范围：1-3000 amu；

质量分辨率：原子：1000 (FWHM)；有机物：2000 (FWHM)；

质量准确度：0.56 mamu；

2、微区成像：SIMS化学成像，空间分辨率：0.2 μm ，二次电子成像；

3、深度剖面：深度分辨率：1.1 nm。

主要功能：

固体表面无机全元素和1-3000有机物质谱分析以及痕量元素/有机物定量，二次离子成像，痕量元素深度分布分析。

应用领域：

材料痕量元素/有机物分析与检测，元素/有机物表面成像，薄膜成分深度分析。