设备简介：

聚焦离子束-场发射扫描电子显微镜设备利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面，对材料进行纳米刻蚀，同时配合扫描电子显微镜进行实时定位与观察，具有束流稳定、分辨率高、纳米操控精确的特点，可以在纳米尺度上对材料开展三维形貌、晶体结构和微区化学成分的定性/定量分析研究，是纳米加工的代表性方法。目前该设备已广泛应用于二维与三维表征、纳米加工、透射电镜制样与三维重构等方面。

技术指标：

1、聚焦离子束：

分辨率，3nm @30kV；

可用离子束流，1 pA–100 nA；

加速电压，0.5-30 kV；

2、场发射扫描电镜：

分辨率，0.9 nm @15 kV；1.8 nm @1 kV；

加速电压，0.02-30 kV；

放大倍数，12X-2,000,000X；

配置5个探测器，包括镜筒内置二次电子探测器（InLens），镜筒内置能量选择背散射电子探测器（EsB），Everhart-Thornley样品室二次电子探测器（SE），4Q-BSD背散射电子探测器，能谱仪（EDS）；

3、五支气体注入系统：XeF2，Pt，C，Si，H₂O；

4、Avizo三维分析软件：含孔喉模型。

主要功能：

1、高分辨二次电子图像；

2、高分辨背散射电子图像；

3、三维重构成像；

4、三维空间材料组成及分布；

5、三维孔隙分布、连通性、孔径及孔隙度；

6、元素组成与含量( EDS)分析；

7、透射电镜样品制备；

8、纳米加工(沉积、刻蚀)。

应用领域：

材料分析与检测，表面成像，地球科学、半导体、涂层等。