设备简介:
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM)是利用经加速和聚集的电子束充当照明光源而进行放大成像的大型显微分析设备。
技术指标:
1、电子枪:FEG场发射电子枪;
2、加速电压:200 kV;
3、放大倍数:25X – 1050000X;
4、点分辨率:0.24nm;
5、线分辨率:0.14 nm;
6、STEM (HAADF)分辨率: 0.19nm;
7、样品最大倾斜角度:α±40°β±25°;
8、元素检测范围:5B-92U;
9、能谱能量分辨率:136ev。
主要功能:
该仪器主要应用于对无机材料的内部微观结构分析,配合能谱仪可以对微区进行定性及半定量的成分分析。具体功能包括选区衍射、微束衍射、会聚束衍射、衍衬像(明、暗场像)、低倍形貌像、高分辨像 (HRTEM)、高角环形暗场像(Z-衬度像)以及元素的点、线和面分析。
应用领域:
广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术、半导体等领域。